1．試料の準備
①試料のセット
- GaAs標準試料を試料ホルダに固定します。In箔を融解させて接着、または銀ペースト等を利用して接着します。
- 試料または試料ホルダへの配線（電極へのコンタクト）を実施します。コンタクトプローブのように一定のばね荷重で電極に接触できるものが望ましいです。
- 試料ホルダを測定室にセットします。TSCでは微少な電流を測定するため、測定チャンバーはシールドの役割も担います。
②測定雰囲気への置換
- 測定室内を真空置換した後、ヘリウムガスに置換します。
- ヘリウムは熱伝導率が高く、測定時の試料の温度制御に適しています。
