測定手順例　Au/GaAs標準試料の場合

IEC TS 62607-8-1を参考にして、TSC測定を実施しました。

ここでは株式会社リガク製TS-FETTを使用した場合の測定手順を中心に記載しています。

IEC TS 62607-8-1の規格文書につきましては下記のサイトより購入が可能です。

https://webstore.iec.ch/publication/29993

事前準備．

１．測定の準備

２．測定プログラムの準備

３．測定